A Coluna óptico eletrônica, que produz um feixe de elétrons de baixa intensidade.

B Câmara da amostra, compartimento onde é inserida a amostra e que contém o filamento de tungstênio.

C Detector de elétrons, que pode ser um cintilador polarizado e um fotomultiplicador.

D Canhão eletrônico, composto por um catodo e um anodo.

E Sistema de objetivas, para atingir o vácuo apropriado para as análises na câmara do microscópio.